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Tergeo等離子清洗機

更新時間:2024-01-02

訪問量:2056

廠商性質:代理商

生產地址:美國

簡要描述:
Tergeo等離子清洗機是美國PIE Scientific公司開發的一款優秀等離子清洗機,采用全彩觸摸屏控制,簡單易用、功能強大,可用于等離子蝕刻、清潔、表面處理、離子和電子束生產等多種應用。
品牌PIE/美國產地類別進口
應用領域醫療衛生,能源,電子,印刷包裝,航天RF射頻頻率13.56MHz

一、Tergeo等離子清洗機-主要配置:

產品型號:TergeoTergeo   Plus
腔室大?。?/span>內徑φ110mm,深度280mm內徑φ160mm,深度280mm
腔室材質:高純度石英玻璃,相對于派瑞克斯(Pyrex)玻璃有著更強地耐腐蝕性和更少地堿雜質;
常用氣體:空氣,氧氣,氫氣,氬氣,氮氣和其他混合氣體;
氣路控制:標配兩路MFC,可選配三路MFC;
射頻頻率:13.56 MHz,遠高于同條件下KHz頻率所產生的等離子密度;
射頻功率:

Tergeo 0~75W連續可調,可選配到150W;

Tergeo Plus標配150W,可選配到300W和500W;

射頻功率可以以 1 瓦的間隔進行調整;

程序設置:共有20個可設置的程序配方,工作順序中最多有三個清潔步驟。
用戶界面:7英寸電阻觸摸屏,可用手指觸摸,無需手寫筆。
操作方法:自動配方執行:自動工作序列執行;手動操作。

Tergeo plasma cleaner.jpg

二、Tergeo等離子清洗機-主要用途:

【1】清洗納米級樣品;

【2】蝕刻光刻膠,除渣、硅片清洗;

【3】引線鍵合倒裝芯片底部填充,器件的封裝和解封;

【4】PDMS/微流控/載玻片/芯片實驗;

【5】改善金屬與金屬或復合材料的結合;

【6】激活聚合物上的官能團,實現親水或疏水潤濕性,提高粘合強度和可印刷性,促進醫療設備的生物相容性。


載玻片的親水處理


三、Tergeo系列等離子清洗機-產品優勢:

【1】外部電極的設計提高等離子體的均勻性;

【2】*的等離子體傳感器技術,用于定量的等離子體強度測量;

【3】直接/浸入模式和遠程/下游等離子體處理模式在一個系統中的應用;

【4】連續和脈沖等離子體可以改變3-4個數量級的清洗速度;

【5】高頻13.56MHz rf電源,具有自動阻抗匹配功能。在相同的額定射頻功率下,MHz等離子體系統的效率比KHz等離子體系統高很多倍;

【6】*過程控制技術;

【7】質量流量控制器(MFC)調節氣體輸入,而不是手動轉子流量計或粗針閥;

【8】*數字壓力傳感器用于精確的壓力監測;

【9】全自動化操作,支持20種程序配方;

【10】直觀的電阻式觸摸屏用戶界面;

【11】外部射頻電極和石英室可以消除內部金屬電極的等離子體系統的金屬污染問題;

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四、供應商簡介:

武漢月憶神湖科技有限公司簡稱“武漢月憶",是中國大陸的一家創新型科技公司,總部位于九省通衢-湖北武漢。

主營實驗室儀器、試劑耗材等,旨在為半導體芯片制造、MEMS、鈣鈦礦太陽能電池以及微流體芯片制造等領域的廣大科研工作者提供專業的解決方案和性能優異的產品,在儀器儀表-實驗儀器裝置行業獲得廣大客戶的認可。

公司秉承“精工品質,用心服務"的經營理念,堅持“以客戶服務為中心"的原則為廣大客戶提供優質的服務。

“買儀器 選月憶",歡迎您來電垂詢!


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